低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，等离子体内部富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，最终转化为CO2和H2O等，从而达到净化废气的目的。该技术具有处理效果好、运行费用低廉、无二次污染、运行稳定操作管理简便即开即用等优点。